Project R-133

Titel

Fundamentele studie van kwantificatieproblemen bij secundaire ionen massaspectrometrie (SIMS).

Abstract

Een belangrijk probleem bij materiaalkarakterisatie met secundaire ionen massaspectrometrie is dit van de kwantificatie van de resultaten. Gezien verschillende fenomenen (ionenbundelvermenging, ionisatievariaties, ...) bijdragen tot signaalvariaties die niet in verhouding staan met compositieveranderingen, wordt een studie uitgevoerd die zich zal toespitsen op de fundamentele aspecten van zowel SIMS als post-ionisatie SIMS met betrekking tot de interacties die plaatsgrijpen en invloed uitoefenen op de uiteindelijke kwalificatie.

Periode

01 januari 1997 - 31 december 2002