Project R-943

Titel

Studie van grenslagen aan nieuwe hoge-K diëlektrische oxiden afgezet via chemische damptechnieken

Abstract

Het Fonds voor Wetenschappelijk Onderzoek - Vlaanderen kent voor de periode van 01.01.2005 tot 31.12.2008 een contract toe aan de onderzoeksgroep IMOA (Universiteit Hasselt) (promotor prof. dr. J. Mullens). Het hoofddoel van dit onderzoek is het verwerven van fundamenteel inzicht in de processen die zich afspelen op grenslaagniveau bij de depositie van nieuwe hoge-K diëlektrica via MOCVD en ALD. Concreet houdt het project een studie in van: - de invloed van het substraatoppervlak op de aangroei van het hoge-k oxide via MOCVD en ALD - de grenslaag tussen het substraat en het hoge-k diëlektricum - de grenslaag tussen het hoge-k diëlektricum en de poortelektrode - de invloed van thermische nabehandelingen op de verschillende grenslagen

Periode

01 januari 2005 - 31 december 2008