Project R-4083

Titel

Herculesproject met titel 'Linear antenna microwave chemical vapour deposition (LA MW CVD) apparatuse

Abstract

Dit projectvoorstel focust op de basisprincipes en toepassingen van diamantdepositie met behulp van een lineair antenne microgolf chemische dampdepositie systeem. Deze techniek behelst een nieuwe methode voor het groeien van nanokristallijne CVD diamantfilms met een hoge sp3/sp2 verhouding. Het gebruik van lineaire antennes voor het creëren van plasma's zijn een schaalbaar concept dat het mogelijk maakt om grote oppervlakken te coaten, een noodzaak voor vooruitstrevende toepassingen binnen de micro-elektronica, biosensoren, en medische implantaten. Daarenboven, de combinatie van lineaire antennes met gepulste microgolven maakt het mogelijk om de depositietemperatuur te verlagen tot gevoelig lager dan 500 °C. Deze temperatuur is voor veel toepassingen in de micro-elektronica de absolute limiet omwille van gevoelige circuits of materialen. Onderzoek zal zich richten op fundamentele aspecten zoals het verhogen van de depositiesnelheid, het verlagen van de depositietemperatuur, en het verhogen van de doteringsefficiëntie. Toegepaste aspecten zijn het gebruik van functionele diamantlagen voor toepassingen binnne energie-conversie en creatie, en (bio)(medisch)-gerelateerde applicaties.

Periode

01 september 2012 - 31 oktober 2018