De verschillende signalen die vrijkomen tijdens een SEM-analyse geven zeer verschillende informatie over het preparaat: topografisch/morfologisch contrast, compositiecontrast, zeer lokale elementanalyse en kristallografische informatie door elektronendiffractie. Dit stelt ons in staat om volgende analyses uit te voeren voor een groot aantal toepassingsgebieden:

• Microstructuurstudie op oppervlak en/of doorsneden
• Controle van kritische afmetingen op oppervlak en/of doorsneden
• Verontreinigingsanalyse
• Corrosie analyse
• Falingsanalyse
• Deeltjesanalyse
• …

SEM-analyses kunnen worden uitgevoerd op een breed scala aan materialen met in de praktijk slechts twee beperkingen. Ten eerste moeten de materialen vacuümcompatibel zijn en ten tweede zijn de afmetingen voor een SEM-analyse beperkt tot maximaal 10 x 10 x 5 cm³ (l x b x h). Er zijn echter vaak extra voorbereidingsstappen nodig om een onderzoeksvraag te beantwoorden. Deze omvatten het maken van dwarsdoorsneden (inclusief mechanisch en/of ionenpolijsten), etsen van korrelgrenzen, decapsulatie van elektronische componenten en opdampen/sputteren van geleidend materiaal. We kunnen deze technieken in huis aanbieden. Een noodzakelijke voorwaarde om een snelle en correcte service te garanderen. Typische voorbeelden van monsters voor SEM analyses zijn:

• Elektronische componenten
• Nanopoeders
• Polymeren
• Deklagen
• ...

Zeiss Gemini 450

• Schottky FEG
• In-lens detectie
• Bundelversterker
• SDD-EDX (silicon drift EDX detector)
• Transfersysteem
• STEM-beeldvorming
• Laag vacuüm mogelijkheden

FEI Quanta 200F

• Schottky FEG
• EDX
• EBSD
• E-beam lithografie
• Laag vacuüm mogelijkheden

De verschillende signalen die vrijkomen tijdens een TEM-analyse geven zeer verschillende informatie over het staal: compositiecontrast, zeer gelokaliseerde elementanalyse en kristallografische informatie door elektronendiffractie. Dit stelt ons in staat om vervolganalyses uit te voeren voor een groot aantal toepassingsgebieden:

• Nanostructurele studie van vaste monsters
• Nanostructuurstudie van vrijstaande films
• Studie van poeders
• ...

Tijdens de TEM-analyse is het noodzakelijk dat het monster elektronisch transparant is. In de praktijk betekent dit dat de maximale dikte van het monster ongeveer 0,1 µm is. Aan deze voorwaarde wordt bijna uitsluitend voldaan als nanopoeders of dunne, vrijstaande films geanalyseerd moeten worden. Daarom zijn er, in tegenstelling tot SEM-analyses, vaak uitgebreide voorbereidende stappen nodig om een onderzoeksvraag te beantwoorden met een TEM-analyse. Voorbeelden hiervan zijn (cryo)microtoom gesneden of met ionenstralen verdunde monsters. Typische voorbeelden van preparaten voor TEM-analyse zijn:

• Nanopoeders
• Polymeren
• Deklagen
• ...

FEI Tecnai Spirit Twin

• Eagle 4k x 4k CCD camera
• Si(Li) Ametek EDX detector
• STEM-eenheid
• Versnelspanning: 20-120 kV
• LaB6 gloeidraad
• Preparaathouders
• Enkele en dubbele kanteling
• Cryotransfer
• Verwarming

Leica Ultracut UCT/EM FCS

• Microtoom snijden
• Cryo mogelijkheden
• Messen van glas en diamant

Het diffractogram van een XRD-analyse bevat informatie over de roosterparameters en kristalstructuren van een kristallijn materiaal. De combinatie met een temperatuurkamer (30°C tot 1000°C) onder gecontroleerde atmosfeer maakt in-situ analyses van transformaties mogelijk. Hierdoor kunnen we vervolganalyses uitvoeren voor een groot aantal toepassingsgebieden:

• Identificatie van aanwezige kristallijne stoffen
• Bepaling van dunne films met voorkeursoriëntatie
• Bepaling van interplanaire verdelingen (spanning)
• Schatting van de gemiddelde korrelgrootte
• Fasetransformaties
• Oxidatiereacties
• ...

XRD-analyses worden voornamelijk uitgevoerd op poeders, (dunne) films en bulkmaterialen. Lucht- en vochtgevoelige poeders kunnen gemeten worden met behulp van een capillair.
Bij XRR-analyses is het belangrijk dat de dunne (<500 nm), kristallijne of amorfe lagen een constante dikte hebben, dus is een gecontroleerd productieproces vereist (bijvoorbeeld: ALD-depositie). Daarnaast wordt een minimale monstergrootte van 20 x 20 mm² aanbevolen. Typische voorbeelden van monsters voor XRR-analyses zijn:

• Halfgeleiderwafers
• Zonnecellen
• ...

Bruker D8 Discover

• Cu X-stralenbron
• Goebel spiegel
• Houder voor capillairen
• Mogelijkheid voor XRR metingen
• Puntdetector (scintillatie) en 1D-detector (lynxeye)
• Hoge temperatuurkamer in gecontroleerde atmosfeer (30°C - 1000°C)

Door middel van 2D en 3D X-stralen beeldvorming kunnen diepere structuren gemakkelijk gevisualiseerd worden, vooral wanneer ze beschermd worden door een plastic omhulsel (zoals in micro-elektronica). Hierdoor kunnen we vervolg analyses uitvoeren voor een groot aantal toepassingsgebieden:

• Controle van soldeerverbindingen (bijvoorbeeld: openingen, kortsluitingen, holtes, scheuren, uitlijnfouten)
• Automatische foutdetectie en -berekening (bijv. bumps en voids)
• Bepaling van de exacte positie van een doorsnede
• Inspectie van medische apparatuur en materialen
• Geavanceerde batterij- en zonnecel topologieën
• Controle van (gouden) draadverbindingen in IC's
• CAD-bestanden vergelijken van assemblages
• Inspectie van meerlagige PCB's
• Controle van lasverbindingen
• Controleren van afdichtingen
• ...

2D en 3D röntgenbeeldvorming kan worden uitgevoerd op een breed scala aan materialen met, in de praktijk, alleen beperkingen voor de afmetingen (maximaal 46 x 41 cm² voor 2D beeldvorming) en het gewicht (tot 20 kg voor 2D beeldvorming). De maximale dikte hangt af van het te onderzoeken materiaal. De bundel moet immers voldoende intens zijn, om doorheen het materiaal de detector te kunnen bereiken. Lichtere materialen mogen dikker zijn, vermits deze over het algemeen minder X-stralen absorberen. Typische voorbeelden van preparaten voor X-stralenbeeldvorming zijn:

• Elektronische componenten
• Printplaten (PCB's)
• Gelaste verbindingen
• Afdichtingen
• Lijmlagen
• Assemblages
• ...

YXLON Cheetah EVO

• Bewegingsbereik: 46 x 41 cm²
• Maximale kanteling detector: ±70°
• Maximale resolutie: 0,6 µm
• Maximaal vermogen: 15 W
• Versnelspanning 20-160 kV
• Buisstroom 1-1000 µA
• 2D beeldvorming, 2,5D laminografie en 3D CT mogelijkheden

Door middel van een SAM-analyse kunnen zowel dieperliggende structuren als delaminatie worden gevisualiseerd. Hierdoor kunnen we vervolganalyses uitvoeren voor een groot aantal toepassingsgebieden:

• Detectie van scheuren in matrijzen
• Detectie van delaminaties
• Detectie van holtes
• ...

SAM-analyses kunnen worden uitgevoerd op een breed scala aan materialen met slechts enkele beperkingen in de praktijk. Tijdens een SAM-analyse wordt het staal ondergedompeld in water, daarom mag water geen effect hebben op het onderzochte monster. Daarnaast is een vlak oppervlak nodig om de verstrooiing van geluidsgolven te beperken. Ten slotte kunnen stalen tot 40 x 40 x 4 cm³ worden gemeten. Typische voorbeelden van monsters voor SAM-analyses zijn:

• Lijmlagen en buigverbindingen
• Elektronische componenten
• ...

PVA Tepla Sam 300

• Movement area: 30 x 30 cm²
• Transducers: 15, 25, 30, 80, 180 and 230 MHz